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等离子体增强卷对卷连续生长CVD系统
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公 司 名: 安徽贝意克设备技术有限公司
经营模式: 生产/制造
企业性质: 有限责任公司
企业法人: 李晓丽
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普通会员

安徽贝意克设备技术有限公司
联系人: 李晓丽 (小姐)
电  话: 0551-5146333
手  机: 15155515121

传  真: 0551-5148123
邮  编:
地  址: 合肥市庐阳区濉溪路312号
 


  详细信息  

编号:产地:
价格:/规格:

简要说明:该设备在真空条件下,通过射频电源作用于真空腔室内的稀薄气体,形成等离子体等效辉光作用下(本公司PECVD专利),利用等离子体的场能部分代替了热能,从而降低石墨烯生长温度,改善工艺条件。

详细介绍:

Voltage 输入电源 · Furnace input AC 208-240V ,50/60 Hz 输入电压 110V/220V 50/60 HZ Power 功率 6KW Working Temperature 工作温度 · Max. Temperature: 1200 °C (< 1 hr) 最高温度:1200℃(< 1 hr) · Continuous working temperature: 1100 °C 持续工作温度:1100℃ Heating Zone 加热区 · Heating Zone Length: 7.87" ( 200+200+200mm) 加热区长度:7.87”( 200+200+200mm) · Constant Temperature Zone: 15.74 " (400mm. +/- 1oC ) 恒温区长度:15.74 " (400mm. +/- 1oC ) Heating Elements 加热元件 · Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝(掺钼铁铬铝合金) Processing Tube 炉管 · High purity quartz tube: 100 mm OD x 1700 mm Length 石英管:100(外径)*1700(长)mm Copper foil width 铜箔基底宽度 ≤80mm Copper foil running rate 铜箔前行速度 8cm/min---50cm/min 可调 Adjustable RF Signal frequency 射频信号频率 13.56MHz±0.005%W Power output 功率输出范围 0-500W Vacuum Dgree 真空度 10-1Pa Dimensions 尺寸 280*60*130cm




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